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LST-300S型共焦半自动平整度测试仪品牌
三禾泰达产地
北京样本
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LST-300S型共焦半自动平整度测试仪
国产建筑工程仪器
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性能参数(Specification)
Parameter | Value |
分辨率（Z axis Resolution） | 0.02μm |
传感器重复性（Repeatability） | 0.20μm
|
测量精度（Accuracy） | ±0.5μm（双抛片）
|
测量点数（Measured Data Points） | 400~10000 |
厚度精度（Thickness） | ±0.5μm（双抛片） |
Mapping50/ 12英寸速度(Speed) | 10 Minuts/P（米字模式） |
结果界面(Result Interface)
硬件组成(Hardware Composition)
本机由光源系统、运动平台系统、机械支撑系统、控制及计算系统四部分构成。
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