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GENE系列-工业飞秒激光器

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• 产品特点:

智能识别和实时控制脉冲稳定性

开机自动优化脉宽，冷启动速度快

智能反馈控制，长期功率稳定性好

脉宽窄时域质量高，满足低HAZ加工要求

一体化结构设计，光束指向稳定性高

脉冲控制模式灵活，支持多种触发工作模式

工业化设计，保障7x24小时连续工作

• 应用领域:

半导体晶圆隐切

钙钛矿电池划线

光波导加工

光栅刻写

金属、玻璃、高分子材料加工与表面处理

GENE-DW-1030/515是一款针对高效率工业场景研发的智能稳定飞秒激光器，智能算法加持可实现快速冷启动，脉冲参数智能识别和自动优化以及功率能量脉宽的长期稳定。激光器输出脉宽窄，光束质量和脉冲时域质量高，精密加工时热影响区小。一体化结构设计紧凑可靠，光束指向稳定性高，支持Trig、Gate、Burst、POD、PSO等多种触发工作模式，可保障工业用户7x24小时连续稳定工作。此款双波长飞秒激光器集成1030nm和515nm两种波长输出可选，脉冲宽度小于350fs，1030nm单脉冲能量大于20μJ@1MHz，515nm单脉冲能量大于10uJ@1MHz，长期功率稳定性优于0.5% RMS。该产品可广泛应用于半导体晶圆隐切，钙钛矿电池划线，光波导加工，光栅刻写，金属、玻璃、高分子材料加工与表面处理等领域。

产品数据

型号	GENE-515-350-10	GENE-1030-350-20	GENE-1030/515-350-20
输出特性
中心波长	515nm	1030nm	1030/515nm
**平均输出功率	10W	20W	20/10W
*小脉宽	350fs	350fs	350fs
脉宽调谐（可选配）	400~5000fs	400~5000fs	400~5000fs
**单脉冲能量	10uJ	20uJ	20/10uJ
重复频率	1Hz~1MHz	1Hz~1MHz	1Hz~1MHz
脉冲选择	单脉冲，按需脉冲，任意基础频率整除
偏振	垂直	水平	水平/垂直
光束质量, M²	M²≤1.3	M²≤1.3	M²≤1.3
光斑直径	3 ±1 mm, 1/e²	3 ±1 mm, 1/e²	3 ±1 mm, 1/e²
光斑发散角	<1 mrad, 2θ	<1 mrad, 2θ	<1 mrad, 2θ
光斑圆度	≥85%	≥85%	≥85%
光束指向稳定性	<20μrad @1hour	<20μrad @1hour	<20μrad @1hour
脉冲宽度稳定性	<1% RMS @*小脉宽	<1% RMS @*小脉宽	<1% RMS @*小脉宽
功率稳定性(24小时)	<0.5% RMS	<0.5% RMS	<0.5% RMS
长期功率稳定性 (100小时)	<0.5% RMS	<0.5% RMS	<1% RMS
脉冲能量稳定性 (24小时)	<1% RMS	<1% RMS	<1% RMS
配置选项
倍频模块	有	无	有
电控激光快门Shutter	标配	标配	标配
Burst脉冲串模式	可选	可选	可选
输出脉冲选择器	可选	可选	可选
指引光	可选	可选	可选
外形尺寸
激光器头 (长×宽×高)	63x39x20cm	63x39x20cm	63x39x20cm
水冷机 (长×宽×高)	58x29x9cm	58x29x9cm	58x29x9cm
电源箱 (长×宽×高)	48x37x9cm	48x37x9cm	48x37x9cm
环境和使用要求
工作环境	20~30℃	20~30℃	20~30℃
相对湿度	<80%（非冷凝）	<80%（非冷凝）	<80%（非冷凝）
电源箱	220 V AC 5 A	220 V AC 5 A	220 V AC 5 A
水冷机	220 V AC 8 A	220 V AC 8 A	220 V AC 8 A
电源箱	750W	750W	750W
水冷机	1240W	1240W	1240W