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金属污染物M-SPEC系列
Full Automatic in Line System
Detection Limit: ~1ppt
Time to data: 30min ~ 1hrs
Detector: ICP-MS
Throughput: 3-6 per hour
自主研制的晶体生长、研磨抛光、光学量测、化学检测、芯片测试等设备， 已广泛运用于半导体集成电路制造的前、中、后道。
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