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晶圆表面及边缘检测设备-SEDI
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| 产品型号 | |
| 应用场景 | |
| 检测缺陷 | |
| 检测精度 | |
| 产能 | 85 WPH@300mm |
| 产品特点 | 微粒检测、缺陷分布、不良分类、ADC |
| 晶圆直径 | Ф6″、Ф8″、Ф12″（尺寸可定制） |
| 产品型号 | |
| 应用场景 | |
| 检测缺陷 | |
| 检测精度 | |
| 产能 | 85 WPH@300mm |
| 产品特点 | 微粒检测、缺陷分布、不良分类、ADC |
| 晶圆直径 | Ф6″、Ф8″、Ф12″（尺寸可定制） |
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