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A3-SRmapping系列在线膜厚检测系统品牌
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A3-SRmapping系列在线膜厚检测系统
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1)和材料有关
2)测量基于Si02on si结构
3)测量基于对于500纳米Si02onSi结构，重复30次的1阶标准偏差
4)对于Si02on Si标准样品，每天测三次，取平均值，重复30天取1阶标准偏差
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