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氦气压缩机概述
氦气压缩机是低温真空泵、低温制冷机或其他制冷单元的驱动单元,用于向低温真空泵、低温制冷机或其他制冷单元提供高纯度氦气。
应用领域 :
氦气压缩机可以驱动不同尺寸的低温真空泵。
"主要应用于半导体前道制程设备的蒸发、溅射和离子注入的真空系统,同时在天文、航天、医疗等领域也有广泛的应用。
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