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多晶硅铸锭用石墨件
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多晶硅铸锭用石墨件
铸锭炉热场主要由特种石墨用加热器、石墨电极、石墨坩埚、DS块、支撑杆、进气管等零部件组成。
热场是多晶硅铸锭炉的心脏，其内装石墨加热器、隔热层、坩埚和硅料等。多晶硅工艺生产过程中多晶硅铸锭炉加热室的结构设计显得至关重要。石墨的来源广泛，可加工成各种形状，且具有热惯性小，可以快速加热，耐高温，耐热冲击性好，辐射面积大，加热效率高，基本性能稳定等特点，成为了现在热场的主要原料。
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