ASPIPER 3000

非线性光学晶圆缺陷检测系统

ASPIRER 3000非线性光学晶圆缺陷检测系统可以提供晶圆级别的缺陷检测，对界面及膜层质量进行综合测试分析，提升各类制程的良率。独有的非线性光学技术配合自主研发的检测系统可提供超高的检测灵敏度，并对有、无图案晶圆均有良好的适用性。ASPIRER 3000机台可满足客户在研发和量产中对晶圆质量的快速、无损、精准检测需求。

产品特点

非接触、无损伤

快速检测

在线检测

软件操作便捷

Wafer Map等多样化表征手段

主要应用

各类成膜工艺质量的监控

各类生产工艺机台稳定性的监控

刻蚀等工艺对晶圆损伤的检测与监控

离子注入及退火工艺的质量监控

清洗等工艺质量的监控