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FS-N 系列半导体气动泵
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高速冲程
高速冲程 (FS-80N**达200 spm)，让结构紧凑、重量轻、成本低，可同时用于高流量及高压力
工况。
无污染设计
过流端采用氟树脂无污染构造，使用独有的轴封显著降低颗粒的产生(已申请**)。
高流量及高吐出压力
**吐出量高达0.7MPa，不仅满足化学供药过程中高流量及高吐出压力的需求，同时适用于清洗
及CMP制程。
传感器驱动系统
内置式开关通过传感器驱动系统打开/关闭电磁阀。因此，即使连接各种控制器，亦可以轻易控制
吐出量。
**吐出量 | 100 L/min |
**吐出压力 | 0.7 MPa |
**耗气量 | 1495 NL/min |
**冲程率 | 100 spm |
主要材质 | PTFE, PFA |
液体输送温度范围 | 5 ~ 60 °C |
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