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一体式垂直气流碳化硅外延设备
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技术优势
设备拥有完全独立的自主知识产权，具有差异化的进气方式、垂直气流和温场控制技术，辅以全自动上下料（EFEM）系统和高温传盘等手段，实现了全球优异的低缺陷等综合技术指标和性能，在高产能、8/6吋兼容、CoO成本、长时间多炉数连续自动生长控制、低缺陷率、维护便利性、可靠性等方面都具有明显的优势。
工艺性能
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