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| 项目 | 机型 | 单位 | SDA50 | SDVA70 |
抽气速率Pump speed（50/60HZ） | L/min | 700/833 | 1000/1200 | |
m³/h | 42/50 | 60/72 | ||
极限压力 Ultimaate Pressure | Torr | 7.5*10-3 | ||
mbar | 1*10-2 | |||
Pa | 1 | |||
马达 Motor | 额定功率 Rated power | Kw | 2.2 | 2.2 |
底压功率 Ultimate Pressure Power | Kw | 1.9 | 1.9 | |
管路连接 Connnection | 入气口 Inlet | DN40 | DN40 | |
出气口 Outlet | DN25 | DN25 | ||
*低流量 Min.Flow | L/Min | |||
**压力 Max.Pressure | kg/cm3 | |||
压力差 Pressure Dif. | kg/cm3 | |||
温度 Temp. | ℃ | |||
接头 | ||||
氮气（选配） N2 | 压力 Pressure | Mpa | 0.05-0.2 | |
流量 Flow | slm | 6-10（sealing gas） | ||
0-50（Dilute） | ||||
接头 Connection | Swagelok 1/4'' | |||
尺寸 | 长*宽*高 L*W*H | mm | ||
重量 Weight | Kg | |||
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