适应晶圆尺寸 Wafer Size

l Size: 4", 6" compatible

检测缺陷类别 Defect types

l 常规检测:微观亮/暗缺陷、宏观亮/暗缺陷、刮伤(Scratch)、defocus、甩胶(SpinPR 及 Comet)、格线(Shotline)、 脱胶(Degumming)

l 带有深度学习系统与神经网络算法，可以对缺陷类别进行精 准分类

l 支持用户定义或协商定制缺陷类别，但增加缺陷类别可能会 影响产能

PSS缺陷检测设备采用自研光学镜头、高性能工业相机和高精度STAGE平台，具备业界**的检测性能，用于4@@、6@@ PR片、PSS片和蓝宝石抛光片的缺陷检测，具有镭刻码识别、缺陷检测及分类、反射率测量及分类、缺陷riview、晶圆分档和光刻胶厚度测量等功能。