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MOCVD在线监测系统 viperRTC-LSD品牌
昂坤视觉产地
北京样本
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MOCVD在线监测系统 viperRTC-LSD
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主要技术指标
l 适用于Aixtron Gx 等单片式行星式转盘系统
l 测温波长：940nm
l 测量反射率波长：940nm, 633nm 或定制
l 曲率测量传感器: CCD
l 测温范围: 450度-1450度
l 测量准确度：±1度，重复性精度 <0.5度
l 一个温度反射率测量通道，1个曲率测量通道（可配置多通道）
l 2点RTC探头，同时测量温度，反射率和曲率
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