
参考价格
面议型号
SBC-16品牌
kyky产地
北京样本
暂无控制方式:
自动靶材材质:
Au 靶为标配,可选 Pt,直径 57mm x 0.1mm 厚靶材尺寸:
-样品仓尺寸:
-样品台尺寸:
可以装载 12 个 SEM 样品座,高度可调范围为 60mm溅射气体:
放气以及氩气换气控制kyky溅射仪
kykySBC-16
国产溅射仪
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SBC-16 是一款结构紧凑的桌上型镀膜系统,特别适用于扫描电镜成像中非导电样品高质量镀膜。
主要特性
通过高效低压直流磁控头进行冷态精细的喷镀过程,避免样品表面受损。
操作容易快捷, 控制的参数包括放气以及氩气换气控制。
数字化的喷镀电流控制不受样品室内气压影响,可得到一致的镀膜速率和**的镀膜效果。
可使用多种金属靶材:Au, Au/Pd,,Pt,,Pt/Pd(Au 靶为标配), 靶材更换快速方便。
技术参数
溅射系统 | |
靶材 | Au 靶为标配,可选 Pt,直径 57mm x 0.1mm 厚 |
标准样品台 | 可以装载 12 个 SEM 样品座,高度可调范围为 60mm |
旋转倾斜样品台(选配) | 旋转速度: 0~60rpm 连续可调,倾斜角度: -90 °~ 90°连续可调; 不锈钢腔体:直径 120mm X 高 75mm; 观察窗:直径 120mm X 高 45mm; 标配旋转台直径 40mm,可放 4 个标准样品台, 其它规格可订做; 具有双重锁紧装置, 可确保样品在旋转倾斜时不会松动脱落。 |
溅射电流 | 微处理器控制, 安全互锁,可调,电流 5~30mA,程序化数字控制 |
计量表 | 真空: Atm - 1*10-3 mbar,电流: 0~99mA |
控制方法 | 带有 “开始”“暂停”按钮的微处理控制器(1-999s),自动抽气、溅 射、关机后自动放气。 |
真空系统 | |
抽气速率 | 133L/MIN |
极限真空 | 10-4 mbar 级 |
噪音 | 56dB |
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