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●重复定位精度高
●安全可靠
●模块化设计
●适用性广
| 外形尺寸:根据客户需求定制 | 重量:≤25Kg | 法兰接口:CF35/CF63/CF100多种可选 |
| 开环重复定位精度:±10μm | 闭环重复定位精度:±2μm | 限位响应:≤10ms |
| 工作速度:≤6mm/s | 驱动行程:120mm或定制 | 靶数量: 3个或定制 |
| 靶类型:矫正靶/YAG/OTR | 视场:30×30或定制 | 图像分辨率:20μm或定制 |
| 图像数据通讯:100M以太网通信 | 环境温度:-20°C~ 60°C | 真空参数:极限真空优于5.0X10-8 Pa |
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