美国 ALICAT 20 系列标准型气体质量流量计，采用内部补偿型层流压差技术，使得大流量范围下气体仍旧保持层流运动。内置的绝压和温度传
感器充分补偿因压力和温度引起的体积流量与质量流量间的差异，并对用户标准工况进行修正。具有 NIST 可溯源校准证书。可用于快速精确地测量过程气体的质量流量、体积流量、压力和温度，适用于多种流量测控场合。

应用及案例 

●  大学/研究所           ●  泄漏检测
●  环境监测                ●  真空行业及镀膜
●  工业炉窑                ●  半  导  体
●  汽车制造                ●  光       伏
●  燃料电池                ●  计量校准
●  过程工艺气体测量

产品特色 

●  数字化产品

●  多参数显示和输出：温度、压力、流量等

●  可选高精度：优于0.5%读数

●  可测范围广，0.01~100%满量程

●  响应时间快，优于10 ms

●  内置98种气体

●  可现场标定混合气体（*多5种成分），并存储20种混合气