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四工位研磨抛光机品牌
铼铂机电产地
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四工位研磨抛光机
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双工位磨抛**晶圆尺寸6英寸;四工位磨抛**晶圆尺寸4英寸;
盘速5-100rpm;
滴料1-100ml/min均匀可调;
四个蠕动泵供料;
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