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GaN外延设备石墨部件品牌
苏州铠欣产地
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GaN外延设备石墨部件
国产定制加工件
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产品特点
涂层厚度均匀，极差<10um
金属杂质含量<2ppm
涂层致密，无针孔，耐刻蚀，寿命长
>行星盘一致性好，均温性好，盘间温差<2C
应用领域
>GaN功率器件
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