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SiC外延设备石墨部件品牌
苏州铠欣产地
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SiC外延设备石墨部件
国产定制加工件
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产品特点
涂层厚度均匀,极差<10um
金属杂质含量<2ppm本征浓度<2e+14>
>外延产品缺陷少、电阻和浓度均匀性好
应用领域
>SiC功率器件
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