设备特点与技术指标

　　真空获得为复合分子泵+机械泵，设备真空度在分子泵启动到400HZ后优于3*10-3pa;30分钟

　　以内优于5*10-4pa;极限真空3*10-5pa。

　　机组为可移位台式小车结构，能够满足不同位置排气的需要。

　　机组配备预抽排气系统，可在分子泵不停止的状态下实现换工件、预抽真空、抽高真空的排气流程，缩短了        排气时间，有效提高了工作效率。

 机组配置：

　　600升(300升)水冷(风冷)复合分子泵1台。

　　北仪优成TRP-12机械泵1台。

　　40角阀一套。

　　高真空复合真空计1套。(包括CF35电离规、KF16热偶规)

　　直径150mm*高200mm真空室1套。

　　带脚轮、围板及不锈钢台面的小车1套。