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自组装薄膜
层-层组装 (聚电解质吸附)
溶液-凝胶体涂膜
其它溶液浸渍涂膜应用
运动范围 (X和Y)容易按照客户的需要进行修改
更宽的速度范围: 1 – 1500 mm/min
无振动运动
技术参数:
大沉积行程: 0 – 350 mm
速度: 0.1 – 75 mm/min
0.2 – 150 mm/min
型号:ksvDC
紧凑结构型– 一体机
行程: 150 mm
基片长度: 75 mm
速度: 0.1 – 75 mm/min
0.2 – 150 mm/min
型号:ksvD
灵活扩展型– 加附件
行程: 150 mm
基片长度: 150 mm
速度: 0.1 – 75 mm/min
0.2 – 150 mm/min
型号:ksvLM
灵活扩展型– 多杯型
行程: 150 mm
基片长度: 150 mm
速度: 0.1 – 75 mm/min
0.2 – 150 mm/min
水平运动: 0-600 mm
水平速度: 0.1 – 400 mm/min
主要特点:
自动操作简单而冗长的沉积步骤
用户能从液相中进行独立的沉积
控制沉积的速度和等待时间
沉积时无振动 (与速度有关?)
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