1）采用美国霍尼韦尔真空压力传感器；

2）采用美国DWYER公司气体浮子流量计，流量显示准确；

3）双路气体控制方式，气体控制更稳定；

4）弧形电极板设计，激发更完全；

5）舱体、管路、阀体全部采用优质不锈钢材质；

6）采用电容式等离子激发，内置激发电极板；

7）手动、自动两种工作模式，可根据客户需求任意切换；

8）触摸按键+4.3寸大屏幕彩色液晶显示屏设计；

9）智能程序化控制，可编程自动完成整个实验过程；

10）无需任何耗材，无需特殊进行维护；

11）舱体尺寸:300x150（直径）mm；

12）舱体容积: 2.6L；

13）射频频率: 13.56MH；

14）射频功率:10-150W无极可调；

15）电源:220V 50/60hz；

16）电流:1.2A；

17）时间设定:0-99分59秒；

18）气体稳定时间: 1分钟；

19）真空度:100pa以内；

20）等离子激发方式:电容式；

21）外形尺寸:460X580X220mm(L*W*H)

22）整机重量:15Kg；

23）双级旋片式真空泵:

24） 一体式缸体，大油窗，防返油设计。

25）抽气速率：7.2m3/h/小时；

26）极限压力2X10ˉ1Pa，电机功率370W，加油量330ml。

27）进排气口连接口：KF16/25法兰。