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Pfeiffer普发涡轮分子泵组

Hicube 系列移动式真空泵组在业界设立了新的标准：**系列的HiPace涡轮分子泵和根据客户应用需求可选的前级泵系列**结合。 Hicube 真空泵组系列主要分为Hicube ECO（经济型）、Hicube Classic、Hicube Pro三种真空泵组。真空泵组可选择干泵或旋片泵作为前级泵，极限真空度可达 5 * 10-10mbar。针对特别有限的空间要求，Hicube 真空泵组中还特别提供尺寸非常紧凑的 HicubeEco经济型泵组，其抽速范围从 35 l/s 至 67 l/s。

根据HiPace 涡轮分子泵选择的不同，HiCube真空泵组还可以分为HiCube 80真空泵组系列、HiCube 300真空泵组系列、HiCube 400真空泵组系列、HiCube 700真空泵组系列。

优势：

涡轮分子泵和前级泵的**结合；适合多种应用需求；

模块化设计原则轻松满足客户多种应用需求；各部件配合简便，易于保养维修；

集成的驱动系统，无需额外的控制系统；“即插即用”-无需布线和安装；

意外断电时，前级真空安全阀（可选.）可保护真空腔体免受返流影响；

可以直接连接真空计

Pfeiffer Hicube真空泵组产品分类：

德国普发 Pfeiffer Hicube ECO真空泵：紧凑的设计和高性能使得Hicube ECO真空泵组为许多应用提供了理想的解决方案；适用于所有的高真空应用；配备了HiPace 80 涡轮分子泵和MVP 015干式隔膜前级泵；

德国普发 Pfeiffer HiCube Classic 真空泵组：适用于所有的高真空和超高真空应用；抽速高达685 l/s，可配备干泵和油封前级真空泵。可选择抽速高达4.3 m3/h的干式隔膜前级泵或抽速高达6 m3/h的旋片泵作为前级真空泵；

德国普发 Pfeiffer HiCube Pro 真空泵组：适用于所有的高真空应用；抽速高达685 l/s，可配备干泵和油封前级泵；它的特性是具有极高的抽速；可选择PentaLine旋片泵和ACP多级罗茨泵作为前级泵；

以上真空泵组 Hicube ECO（经济型）、Hicube Classic、Hicube Pro均可按客户需要选配显示控制单元。

参数型号	连接法兰	抽速L/S	极限真空mbar						前级泵抽速m³/h
	入口	N2
Hicube 80 Eco	KF40	35	10-7						15L/min
Hicube 80 Eco	ISO-K 63	67	10-7						15/min
Hicube 80 Eco	CF63	67	10-7						15L/min
Classic	法兰连接	抽速L/S	极限真空mbar						前级泵抽速m³/h
	入口	N2	MVP040	MVP070		DUO 3		DUO5M	MVP040	MVP070		DUO 3		DUO5M
Hicube 80 Classic	KF40	35	10-7						2.3	3.8		2.9		5
Hicube 80 Classic	ISO-K 63	67	10-8	10-8		5*10-10		5*10-10	2.3	3.8		2.9		5
Hicube 80 Classic	CF63	67	10-7						2.3	3.8		2.9		5
Hicube 300 Classic	ISO-K100	260	10-7						2.3	3.8		2.9		5
Hicube 300 Classic	CF100	260	10-8	10-8		5*10-10		5*10-10	2.3	3.8		2.9		5
Hicube 400 Classic	ISO-K100	355	10-7						2.3	3.8		2.9		5
Hicube 400 Classic	CF100	355	10-8	10-8		5*10-10		5*10-10	2.3	3.8		2.9		5
Hicube 700 Classic	ISO-K160	685	10-7						2.3	3.8		2.9		5
Hicube 700 Classic	CF160	685	10-8	10-8		5*10-10		5*10-10	2.3	3.8		2.9		5
Pro	法兰连接	抽速L/S	极限真空mbar						前级泵抽速m³/h
	入口	N2	ACP		Duo		Pascal		ACP		Duo		Pascal
Hicube 80 Pro	KF40	35	10-7						14/27		9/20		9/18
Hicube 80 Pro	ISO-K 63	67	10-7						14/27		9/20		9/18
Hicube 80 Pro	CF63	67	5*10-10						14/27		9/20		9/18
Hicube 300 Pro	ISO-K100	260	10-7						14/27		9/20		9/18
Hicube 300 Pro	CF100	260	5*10-10						14/27		9/20		9/18
Hicube 400 Pro	ISO-K100	355	10-7						14/27		9/20		9/18
Hicube 400 Pro	CF100	355