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当今高精电子束设备对环境磁场及其动态变化是非常敏感的。环境磁场使电子束产生偏移,从而导致设备分辨率和测量精度的减低。SC22系统是一种三维空间内的交流磁场补偿系统,通过传感器感知空间环境中交流磁场及其变化量,控制器通过三维空间线圈来提供反磁场,抵消环境磁场给电子束设备带来的影响,恢复应有的分辨率和精度。
SC22特点及技术参数如下:
通过稳定磁场环境确保您购置的电子束科技设备应有性能
消除和监测交流磁场
低成本高性能系统
智能用户界面
自动运行,连续实时补偿磁场
交流磁场可消除范围:0.5 Hz to 5 kHz;市电60 Hz的交流背景磁场可被改善50倍
完整的X, Y, Z三轴消磁系统
可消除场强高达60 mG (6.0 μT) pk-pk
磁场跃变响应速度:100 μs以内
高灵敏度传感器,可精确反馈环境磁场变化;支持双传感器,用于抵消TEM透射电镜和高突变环境磁场
USB监控端口
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