产品型号

GSL-1100X-SPC-12等离子薄膜溅射仪

本设备要求在海拔1000m以下，温度25℃±15℃，湿度55%Rh±10%Rh下使用。

1、水：不需要

2、电：AC220V 50Hz，必须有良好接地

3、气：设备腔室内需充注氩气（纯度99.99%以上）清洗，需自备氩气气瓶

4、工作台：尺寸600mm×600mm×700mm，承重50kg以上

5、通风装置：需要

主要特点

1、可以调节电流大小，可设置溅射时间。

2、已经过CE认证。

技术参数

1、输入电源：208V-240V 50Hz/60Hz

2、样品台：?60mm，高度可调节

3、石英腔体：?100mm×130mm

4、进气口：内部装有阀门，可以向腔体内通入各种气体

5、靶材：纯度为4N的金靶，?57mm×0.12mm

产品规格

　尺寸：480mm×320mm×150mm；重量：20kg

可选配件

1、Au（?57mm×0.12mm，4N）

2、Pt（?57mm×0.12mm，4N）

3、Ag（?57mm×0.5mm，4N）