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超纳NanoX-S 3D光学干涉轮廓仪设备，外观精致小巧，体积小，重量轻，测量精度高，测量时间短，操作简单方便。适用于先进制造业中微米、纳米级结构表面微观特征的三维精密测量，包括表面 粗糙度、表面轮廓、台阶高、表面缺陷、微 观形貌、薄膜厚度等等。同时适用于大专院校实验平台，科研院所以及各类专业检测平台实验室。
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