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仪器介绍：
近代科学技术的许多学科对各种薄膜的研究和应用日益广泛，因此，测得薄膜厚度和光学参数已变得更加迫切和重要。在实际工作中，常常使用椭圆偏振法来进行测量。这种方法测量灵敏度和精度较高，并且是非破坏性测量。他能同时测定薄膜的厚度和折射率。
本产品为手动方式调节仪器，测量薄膜的厚度和光学参数。清晰的展示了椭圆偏振测厚仪的各个部件的结构功能，调节方法，使用户可详细的了解椭圆仪的原理结构，并培养其动手操作能力。
技术指标：
编号 | 名称 | 参数 |
1 | 测量范围 | 1nm-300nm |
2 | 测量*小值 | ≤1nm |
3 | 入射角 | 30°～90°误差≤0.1° |
4 | 偏振器方位角读数范围 | 0°～180° |
5 | 度盘刻度 | 每格2度 |
6 | 游标*小读数 | 0.05° |
7 | 光学中心高度 | 152mm |
8 | 工作台直径 | φ70mm |
9 | 外形尺寸 | 730mm×230mm×290mm |
10 | 主机重量 | 20kg |
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