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真空MU-X系列
真空MU-X系列

参考价格

面议

型号

真空MU-X系列

品牌

Kashiyama

产地

日本

样本

暂无
KASHIYAMA工业株式会社

会员

|

第3年

|

工商已核实

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核心参数
  • 进口直径(mm):

    -
  • 泵轴位置:

    其他
  • 驱动方式:

    其他
  • 输送物料:

    -
  • 连接方式:

    其他
  • 材质:

    其他
  • 口径:

    -
  • 压力:

    -
  • 设计标准:

    -
  • 出口直径(mm):

    -
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KASHIYAMA工业株式会社,多年来致力于真空技术的研究,不断开发进取,在半导体制造领域和高科技行业中拥有极高的信誉。尤其在半导体制造领域,获得了客户的高度评价与信赖。

MU-X系列

Power Consumption 0.35kW. Extreamly Small Footprint. Roots dry pump achieved smallest energy consumption & footprint in the category. Applicable 02 for various tools. Best for clean pumping such as L/L and transfer chamber, etc.

主要产品

规格。/产品MU100XMU180XMU300XMU600XMU1218XMU20N18X
**值抽速
[升/分钟]*1
1,6603,0005,00010,00020,00030,000
极限压强
[啪]*1
1.50.5
电源电压
(50/60赫兹)
三相交流200至220伏*2
功率消耗
[千瓦]*3
0.350.50.550.60.91.0
尺寸[毫米]长×宽×高*4450×230×275550×280×299450×230×520530×230×520870×380×7511000×450×950
质量[千克]6095100120270410

*1)不带N2清洗。*2)如需其他电压选项,请联系我们。*3)大约。极限压力下的值。*4)包装尺寸。
*联系我们了解国际标准合规性。规格。产品名称如有变更,恕不另行通知。
*关于大容量泵,请联系我们。

S-P曲线

S-P Curve


创新点

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用户评论

产品质量

10分

售后服务

10分

易用性

10分

性价比

10分
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