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单晶炉多晶炉用干式螺杆真空泵
单晶炉多晶炉用干式螺杆真空泵

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型号

单晶炉多晶炉用干式螺杆真空泵

品牌

德耐尔

产地

上海

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德耐尔节能科技(上海)股份有限公司

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第3年

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核心参数
  • 出口直径(mm):

    -
  • 进口直径(mm):

    -
  • 泵轴位置:

    其他
  • 驱动方式:

    其他
  • 输送物料:

    -
  • 连接方式:

    其他
  • 材质:

    其他
  • 口径:

    -
  • 压力:

    -
  • 设计标准:

    -
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单晶炉与多晶炉用干式螺杆真空泵的特点

·无油气污染真空系统,可获得清洁真空

·配置单晶硅与多晶炉专用过滤器,减少硅粉吸入真空泵

·被抽气体不会被污染,尾气可进行回收利用

·无油气和油烟等有害气体的排放,环境污染小

·避免了因泵腔内润滑油乳化、变质而出现的运行故障,提高了系统的稳定性,同时减少了泵润滑油的损耗

·泵可单独使用,或者与罗茨泵、分子泵等组合成无油真空机组,作为机组的前级泵使用。单泵进气压力在 1Pa 至大气

 压均能正常工作,抽气效率高,可大大简化抽真空系统

·泵腔内各相对运动零件之间采用间隙密封,零件间无接触摩擦存在,零件损耗小,使用寿命长

·泵腔内采用间隙密封,对少量小颗粒粉尘不敏感

·整机体积小,减少占地面积

·消耗功率更低,节能效果好

·运行噪声低


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螺杆真空泵开机前应做好哪些准备?

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