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QBT-MP品牌
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-韫茂科技实验设备
韫茂科技QBT-MP
国产实验设备
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超高真空多腔体磁控溅射系统

技术参数:
基板:可加热至RT-900ºC,可旋转,基板与靶材距离连续可调,晶圆和靶空间可以连续变化
极限真空:<3E-9Torr
基板传输:高度可靠和可重复的基板传输能力
厦门韫茂科技有限公司凭借在先进材料设备业务方面多年的经验,韫茂为新型芯片,半导体和锂电池领域的新材料开发和生产,提供最先进的纳米工艺设备和服务解决方案。根据您的特殊需求,我们为您定制打造创新纳米加工平台,保证高品质的设计,多功能,易于使用的界面,严格的安全控制,以及快速的交付和服务。
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