压电晶体生长炉

技术参数：

炉体内腔尺寸：φ800mm×1000mm

外形尺寸：1000mm×1000mm×2500mm

**长晶尺寸：6英寸

籽晶轴提拉行程：450mm

提拉运动*小线速度：0.01mm/hr

快速提拉速度：200mm/min

籽晶轴转动速度：0.1～100r/min

称重系统：称重传感器量程20kg；信号放大器显示精度0.01g

控制软件：提拉法等径控制软件，采用上称重方法来控制晶体直径，晶体形状可随意设计，PID及运动参数可随晶体形状过渡变化，屏幕上数据交叉显示提供生长过程中数据综合分析工具。

加热电源：中频感应加热

加热**输出功率：30KW

真空系统：机械泵抽真空

水冷系统：炉腔、加热线圈流量控制循环冷却。