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日本 Fujiwork 大型台座超高精度薄膜测厚仪 HKT‑Master0.01AAL 静电卡盘用
日本 Fujiwork 大型台座超高精度薄膜测厚仪 HKT‑Master0.01AAL 静电卡盘用

参考价格

1万元以下

型号

HKT‑Master0.01AAL

品牌

产地

日本

样本

暂无
深圳森泽工业品有限公司

金牌会员

|

第1年

|

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核心参数
  • 误差率:

    ≤±0.5% FS
  • 分辨率:

    0.1%
  • 重现性:

    ≤±1.2%
  • 分散方式:

    红外辐射加热 + 样品平铺受热均匀分散
  • 测量时间:

    0‑99min可调
  • 测量范围:

    0‑500μm
标签:

森泽粉体特性测试仪

森泽HKT‑Master0.01AAL

国产粉体特性测试仪

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HKT‑Master0.01AAL 是 HKT‑Master0.01AA 的大尺寸石质底座版本,除测量台支架结构外,其余核心硬件参数与 0.01AA 完全一致。配置 200mm×150mm 大型花岗岩测量台,可放置大尺寸板材、大规格陶瓷静电卡盘、大面积光学基板等大尺寸试样。分辨率 0.01μm,量程 0‑500μm,恒定 0.14N 气动低压下压,R30 硬质合金球面测头,重复测量精度 0.1μm。花岗岩底座刚性强、形变极小,规避大样品自重带来台面微变形,保障测量稳定性。支持 RS232C/USB 通讯,对接电脑软件采集、存储、导出厚度数据,可搭配脚踏开关,满足半导体、光学行业中大尺寸工件多点厚度检测,适合实验室精密质检与来料检验,遵循 ASTM D374、GB/T 6672 测试标准,AC100‑240V 宽电压供电。


〈规格〉

※除测量支架外,其他产品规格均与HKT-Master0.01AA相同 

●测量支架/石制基准型 

尺寸:约(长)200mm ×(宽)150mm ×(高)300mm


特点

  • 大型花岗岩石质测量台,台面 200×150mm,专门适配大尺寸基板、大型静电卡盘等常规小台面无法放置的工件,拓展大试样检测能力。

  • 花岗岩底座刚性高、热变形小,抑制大件样品自重造成台面微形变,保障亚微米级测量稳定,解决大工件测值漂移问题。

  • 继承 0.01AA 全套核心精密单元,0.01μm 超高分辨率、0.14N 恒定低压气动下压,兼顾大样品兼容与超高测量精度,无需改动核心测量组件。

  • 气动匀速下压机构,无冲击接触试样,避免划伤高价值陶瓷、光学基材;球面硬质合金测头耐磨,降低长期使用维护成本。

  • 完整数据输出功能,可实现大工件多点扫描测量,记录全区域厚度分布,输出报告,满足半导体零部件品质追溯需求;脚踏开关解放双手,大件样品摆放操作更便捷。

创新点

大型花岗岩石质测量台,台面 200×150mm,专门适配大尺寸基板、大型静电卡盘等常规小台面无法放置的工件,拓展大试样检测能力。

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