参考价格
面议型号
VHCgr-20/20/30-1600品牌
皓越科技产地
上海样本
暂无非金属电热元件：
其他金属电热元件：
其他烧结气氛：
真空温控精度：
-最高温度：
1600℃额定温度：
-皓越科技粉体焙烧炉
皓越科技VHCgr-20/20/30-1600
国产粉体焙烧炉
看了C2GR16-气相沉积炉的用户又看了
留言询价
咨询C2GR16-气相沉积炉
使用微信扫码拨号
一、C2GR16-气相沉积炉基本原理与特点
1.基本原理：
热诱导化学气相沉积(英语:chemical vapor deposition ,CVD)是用于各种电介质,半导体和金属材料的保护涂层的沉积的有力方式，无论是单晶，多晶，无定形或外延状态上或大或小的形态。典型的涂层材料包括热解碳，碳化硅，氮化硼。通过使用合成前体，涂层非常纯净并目满足半导体工业的典型要求，根据工艺参数，可以有多种层厚度，从单个或几个原子层到厚度从10纳米到数百微米的固体保护层或功能层，以及厚度达100微米的单片部件，甚至高达数毫米。
2.设备特点：
（1）采用卧式、侧开门结构，装、卸料精度高，操作方便；
（2）采用优良的控制技术，能精密控制MTS的流量和压力，炉膛内沉积气流稳定，压力波动范围小；
（3）温度均匀性好，平均温度均匀性为±5℃；
（4）采用多通道沉积气路，流场均匀，无沉积死角，沉积效果好；
（5）全封闭沉积室，密封效果好，抗污染能力强；
（6）安全性能好，采用HMI+PLC+PID程序控制，安全可靠；
（7）对沉积产生的高腐蚀性尾气、易燃易爆气体、固体粉尘及低熔点粘性产物能进行有效处理；
（8）多级高效尾气处理系统，环境友好，能高效收集焦油及副产物，易清理；
（9）采用设计防腐蚀真空机组，持续工作时间长，维修率极低。
二、C2GR16-气相沉积炉主要技术参数：
| 1 | 编号 | C2GR16 |
| 2 | 产品型号 | VHCgr-20/20/30-1600 |
| 3 | **设计温度（℃） | 1600 |
| 4 | 加热元件 | 等静压石墨 |
| 5 | 加热功率（kW） | 45 |
| 6 | 冷态极限真空度（Pa） | 6.7x10-3Pa（空炉、冷态、经净化） |
| 7 | 测温元件 | 钨铼热电偶 |
| 8 | 升温速率 | 1~20℃/min |
| 9 | 温度均匀性 | ±5℃（5点测温，恒温区1000℃保温1h后检测） |
| 10 | 炉膛尺寸（mm） | 200x200x300（WxHxD） |
| 11 | 可通入气氛 | 1路CH3SiCI3、1路氨气、1路氢气、1路氮气 |
| 12 | 气氛流量计 | 4路质量流量计 |
| 13 | 设备外形尺寸（mm） | 1425x1550x1850mm(LxWxH) |
三、化学气相沉积炉(CVD气相沉积炉)产品展示图：
暂无数据！
上海皓越产品图片 
真空炉无废气、烟尘，无废水、废渣，无环境污染，改善了劳动条件，被称作光亮热处理、清洁热处理和绿色热处理。真空炉加热工件无氧化、无脱碳、无合金元素贫化，脱脂脱气，真空提纯，避免氢脆，能实现
真空烧结炉是利用感应加热对被加热物品进行保护性烧结的炉子，可分为工频、中频、高频等类型，可以归属于真空烧结炉的子类。真空感应烧结炉是在真空或保护气氛条件下，利用中频感应加热的原理使硬质合
真空热压炉的结构详细说明： (一)真空热压炉炉体部分： 真空热压炉炉体为立式炉壳其内层为不锈钢制成的园筒外层为碳钢。两层之间形成夹套可以通冷却水
气压烧结炉的用途： 主要用于在高温高压条件下，金属陶瓷材料，化学高纯的单晶材料、纳米相材料、梯度功能材料等高性能材料的制备。对于大型工件，设计了“底装料”结构炉型，装卸料方便，尤其在脱脂、气压烧
使用压力炉能够大幅度的提高合金产品的质量和性能。作为一种全新的提高硬质合金产品质量的有力手段，它受到越来越多国内外合金生产企业的重视，成为了高性能合金生产必需的重要装备。 压力炉的基本功能和结构
氢气炉的控制采用自动控制与手动控制两种，并且能相互切换。自动控温为分段程序控温仪，能按工艺曲线要求升温，满足各种工艺要求，水、气压均有压力控制，实现流量报警，声、光显示。喷漆色彩协调，外观美观大方
C2GR16-气相沉积炉的工作原理介绍？C2GR16-气相沉积炉的使用方法？C2GR16-气相沉积炉多少钱一台？C2GR16-气相沉积炉的说明书有吗？C2GR16-气相沉积炉的报价含票含运费吗？C2GR16-气相沉积炉有现货吗？0有办事机构吗？0销售电话是多少？
手机版：
工商已核实
