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ALDER-500PAS(A500PAS)品牌
光驰产地
上海样本
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ALDER-500PAS(A500PAS)
国产半导体行业专用仪器
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特点及优势
小量多种材料的定制设计
工艺温度**400℃
支持低温plasma工艺（可选配）
自动化搬送：基板**8inch*10pcs
工艺材料：SIO₂\Al₂O₃\TIO₂等
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