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在玻璃/PC/PMMA基片上形成高精度光学多层薄膜的精密真空镀膜机;将满足客户需求的多种元件组合在一起,可以形成品质更加优良的薄膜;基片伞架采用中心旋转方式(公转),减少产生振动和颗粒,使基片能够稳定旋转。
采用坩埚上没有极片的电子束加热方式作为蒸发源,可以稳定地形成多层膜;采用本公司独有的比率控制法和多点在线监控,可以形成高精度且稳定的光学多层膜;可利用操作性良好的升降机来取出基片伞架。
使用均匀分布的高离子电流密度的离子源,搭载双电子枪,多点和环型坩埚可镀100层以上,利用自动蒸镀控制系统实现全自动蒸镀过程,工件架可选择钟罩式或行星式。
AR 膜(基材玻璃透过率>91.5%):
■ 420-680nm波段,单面平均透过率>95%,反射率小于0.5(平均值)% ;
■ 双面平均透过率>98%,反射率小于0.5(平均值)%;
AS/AF膜测试标准:
■ 初始接触角范围为 115±5°;
■ 钢丝绒耐摩擦测试标准:用 0000#钢丝绒,面积为 10*10mm,行程 40 次/分,负载1Kg,5000 次往返摩擦后,接触角大于 100°;
■ 橡皮擦测试标准: 直径 6mm 橡皮擦,行程 25 次/分,负载1Kg, 2500 次往返摩擦后,接触角大于 100°;
备注:测试样片玻璃需为经过精密抛光过的触摸屏盖板专用玻璃,表面光洁。
优势:
•提高沉积速率以实现更高产量
•在半导体,光电和光子学领域实现高精度工艺
•坚固耐用且易于维护
规格 | |
型号 | HCEB-1100 |
腔体尺寸 | Φ1100 x H1520 |
装载量 | 0.8 m2 |
结构 | 立式前开门,SUS304不锈钢 |
性能 | |
转速 | 10~30RPM(可变) |
抽速 | 大气压至1.5×10-3Pa≤30min |
极限真空度 | 8.0×10-5Pa |
膜料 | TiO2,Ti3O5,H4,ZrO2,ZnS,Al2O3,MgF2,SiO2,Au,Ag,Cu,Al,Ti,In,Sn... |
主要配置 | |
夹具系统 | 中心上旋转伞架,单体或分体 |
加热系统 | 卤素灯 / 铠装加热器,**350℃ |
排气系统 | 低真空泵组 + 高真空泵组 + 低温泵 / Polycold |
真空控制系统 | 真空控制器、潘宁及皮拉尼真空计 |
镀膜系统 | 电子枪,无氧铜坩锅,阻抗式蒸发源,射频/考夫曼型/霍尔型离子源 |
充气系统 | MFC或APC自动压强控制仪 |
膜厚控制仪 | 晶控或光控 |
控制系统 | PC+PLC |
应用 | |
光学薄膜应用 | UV/IR截止滤光片、装饰膜、带通滤光片、RGB滤光片、光触媒、HR膜等 |
适用波长 | 300nm~1560nm |
注:可客制化(数据仅供参考) |
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