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基本规格
尺寸: 2.8 米(长)x1.2 米(宽)x2.2 (高)
重量:4.5 吨
设备构成
研削主轴(2sets)
清洗干燥单元
背面清洗单元
搬送单元(Robot)
**加工尺寸
φ 200mm
加工方式
干进,干出
加工能力
同时高效加工2 片
生产能力
≥ 30 wafers /hr
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产品质量
售后服务
易用性
性价比
实验型专用篮式砂磨机
颗粒处理系统VSN
磨粉机Dolomit MDDP / MDDQ
生产型胶体磨
冷冻混合球磨仪 MM 400