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流体轴承 全机型标准装备
磨盘平面维持机制
三向式 BN 系列
创新型上磨盘不旋转的研磨机。通过钢丝悬挂上磨盘,提升了对下磨盘的追随性,显著提高良率,实现量产中的成本优化。
单面研磨 / 抛光机 HS 系列
沿用双面研磨机的技术积累,标准搭载专为单面研磨机开发的流体轴承,即使仅使用单个研磨环也能实现稳定加工。
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产品质量
售后服务
易用性
性价比
晶圆表面颗粒物快速检测系统(PDS)
电子束光刻机
CVD 真空化学气相沉积设备
马尔文帕纳科XRD系列晶向定位
红外气体传感器 Gasboard-2060