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产品特点
SiC晶圆薄化砂轮
性能参数
4&6inch sic晶圆的减薄加工
使用#2000DV 的砂轮对486inch SiC进行粗磨加工，使用#30000DV砂轮进行精磨加工
#30000DV减薄加工后晶圆表面(Zyg0公司白光干涉仪 NewView8200)
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