参考价格
面议型号
BTF-1400C-OP-4ZL-CVD品牌
贝意克产地
安徽合肥样本
暂无非金属电热元件：
碳化硅金属电热元件：
其他烧结气氛：
其他温控精度：
±1℃最高温度：
1400℃额定温度：
≤1300℃贝意克管式炉
贝意克BTF-1400C-OP-4ZL-CVD
国产管式炉
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一、产品特色
这是一款定制可开启式CVD设备。该设备主要开启式加热炉、气路系统、反应管、智能控制系统。
1、开启式加热炉：
加热炉膛采用超轻氧化铝纤维材料，配S型热电偶，单点控温；设备升降温控制灵活、加热炉可开启方便客户更换维修反应管
2、气路系统可精确控制3路气体按不同流量进行混合配比，另外单独1路可通强腐蚀气体，配备吹扫气路。
气路管路及阀门，精工件都采用316L材质。
3、反应管组件
反应管组件使用耐高温刚玉管，内加刚玉管堵，两端密封法兰带水冷却系统，反应管尾部带反应物收集冷却装置。实验众产生的尾气经过冷却收集后再通过球阀排出。
4、气体报警系统
配备有氢气报警器，氯气报警器、甲烷报警器。分别设置1个检测点，报警后自动切断氢气、氯气和甲烷的供应，并发出警报。
5、 智能控制系统
采用智能PID模糊控制，30段可编程控制。具有超温和断偶报警功能。
二、技术参数
**温度 | 1400℃ |
持续工作温度 | ≤1300℃ |
升温速率 | ≤10℃/min |
控温精度 | ±1℃ |
加热元件 | 硅碳棒 |
热电偶 | S型 |
控温方式 | 模糊PID控制和自整定调节，人工智能化30段可编程控制，具有超温和断偶报警功能。 |
加热总功率 | ≤9KW |
加热区尺寸 | 300*130*160mm |
真空度 | ≤5pa |
设备尺寸 | 2100*600*1350mm |
设备重量 | 约350KG |
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