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面议型号
大口径高温高压芯片退火管式炉LFT1200C 450D254品牌
康帕因产地
安徽样本
暂无非金属电热元件:
其他金属电热元件:
其他烧结气氛:
其他温控精度:
-最高温度:
-额定温度:
-康帕因管式炉
康帕因大口径高温高压芯片退火管式炉LFT1200C 450D254
国产管式炉
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大口径高温高压芯片退火管式炉设备用于较大尺寸(**尺寸为8英寸)衬底退火处理,设备采用电阻丝为加热元件,保温材料为氧化铝纤维炉膛真空吸附成型,保温性能好,电阻丝为内嵌式一体成型,美观、节能;该设备还集成了真空以及供气系统,满足更多工艺条件要求。采用耐高温金属管为高温炉管,满足高温工作条件,也能满足真空或者一定的正压条件实验要求,是一款洁净的大尺寸样品热处理设备。
技术参数:
型号 | LFT1200C 450D254 |
额定功率 | 13KW |
额定电压 | 380V |
**温度 | 1000℃ |
额定温度 | 900℃ |
推荐升温速率 | 10℃/min |
炉管尺寸 (可根据客户要求订制) | 内径245*600mm(含管堵) |
外型尺寸(长×深×高) | 1900*700*2100mm |
控温精度 | ±1℃ |
极限真空度(选件) | 1.0×10-3Pa(机械泵+分子泵) |
加热元件 | OCr27Al7MO2(掺钼铁铬铝合金) |
重量 | 490公斤 |
客户自配装空气开关 | 40A |
流量控制器技术参数:
连接头类型:Φ6双卡套接头
流量规格: (1000,1000,1000,1000,)sccm ,具体气体量程 可根据工艺要求配置
准确度:±1.5%
线性:±0.5~1.5%
重复精度:±0.2%
响应时间:气特性:1~4 Sec 电特性:10 Sec
工作压差范围:0.1~0.5 MPa
耐压:3MPa
输入输出信号:0 V ~ +5.00 V(输入阻抗大于100K,输出电流不大于3mA)
电源:+15 V 50 mA -15V 200 mA
工作环境温度:5 ℃ ~ 45 ℃
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