设备特点：该设备是由开启式真空管式炉根据特殊工艺要求而设计的，其滑轨式结构设计在实验过程中可满足多种工艺要求，可将样品直接推至实验所需设定高温区，使样品能得到一个快速的升温速度，同样也可将高温的管式炉直接推离样品处，使样品直接暴露在室温环境下，得到快速的降温速率，满足工艺要求对升降温要求较高的实验，是一款性价比很高的产品，同时具有一定的可扩展性，比较适用于二维材料，碳材料的实验要求。

一、技术参数：

额定功率：3kw

**温度：1200℃

工作温度：1100℃

建议升温速率：10℃/min（此为炉体本身的升温速率，通过滑动加热区可获得更快的升降温速率，温差较大条件下可达10℃/S）

炉管：高纯度石英管Φ50x1400mm

加热区长度：440mm

恒温区长度：200mm

控温精度：±1℃

热电偶：K型

管堵：石英管堵2个

控温方式：模糊PID控制和自整定调节，智能化30段可编程控制，具有超温和断偶报警功能

尺寸： 1900*640*1320mm

操作界面：触摸屏

滑动方式：手动

二、双通道质量流量控制器MFC-2Z

参数：

连接头类型：Φ6双卡套不锈钢接头。

标准量程（N₂)：氢气20sccm、氩气2000sccm

准确度：±1.5%

线性：±0.5～1.5%

重复精度：±0.2%

响应时间：

气特性：1～4 Sec

电特性：10 Sec

工作压差范围：0.1～0.5 MPa

**压力：3MPa

接口：Φ6,1/4''

显示：4位数字显示

工作环境温度:5~45高纯气体             

内外双抛不锈钢管：Φ6

压力真空表：－0.1～0.15 MPa, 0.01 MPa/格   截止阀：Φ6

控制软件：该系统采用触摸屏为操作元件，PLC程序与流量计精准通讯，具有反应时间短，误差小等优点。

三、 分子泵系统（莱宝）

分子泵型号：TURBOVAC 90i

抽速：N2 90L/S,  He 90L/S  H2 778L/S

前级泵型号：DIVAC 300

抽速：3m³/h

接口类型：DN63 ISO-K

电源：220V 50/60hz

环境温度：5-32℃