
参考价格
1万元以下型号
AM-VSi2-001-1品牌
亚美纳米产地
浙江嘉兴样本
暂无存储条件:
密封保存密度:
4.93纯度:
99.9%莫氏硬度:
7.49颜色:
黑色目数:
1um/5um/10um品级:
优品级制作方法:
气相合成法主成分含量:
99.9%亚美纳米其它无机材料
亚美纳米AM-VSi2-001-1
国产其它无机材料
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产品应用
制备硅化钒薄膜。用大束流密度的钒金属离子注入硅,能够直接合成性能良好的薄层硅化物。随束流密度的增加,硅化钒相生长,薄层硅化物的方块电阻RS 明显下降,当束流密度为25μA/cm2 时,Rs 达到*小值22Ψ,说明连续的硅化物已经形成。X 衍射分析表明,注入层中形成了V3Si 、V5Si3 、V3Si5 和VSi2 四种硅化钒。经过退火后,Rs 明显地下降,Rs *小可降到9Ψ,电阻率可小到72μΨm ,说明硅化钒薄层质量得到了进一步的改善,大束流密度注入和退火后,硅化钒相进一步生长。大束流密度注入和高温退火(1200 ℃)仍然具有很低的薄层电阻率,这充分说明硅化钒具很好的热稳定性。透射电子微镜观察表明,连续硅化钒薄层厚度为80nm 。
包装储存
本品为充惰气塑料袋包装,密封保存于干燥、阴凉的环境中,不宜暴露空气中,防受潮发生氧化团聚,影响分散性能和使用效果;包装数量可以根据客户要求提供,分装。
气相合成法制备高纯二硅化钒
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