ED20
卓上型精密涂布装置

卓上型精密涂布装置ED20是一款非常适合用于研发和试制的紧凑型台式设备，其尺寸为W500 x D800mm。由于采用了X-Y移动平台，因此XY轴的重复定位精度可达到±3μm以内。

除双气雾式分配器（全功能型、基础功能型）外，还可配备压电喷射式分配器、螺旋式分配器等各类分配器，因此可广泛用于测试用途。

该设备配备了顶视摄像头、激光位移计以及真空吸附台，还具备自动对焦和工件高度检测功能，这些都是实现高精度涂覆所不可或缺的。作为用于微细涂覆及液体材料测试的研发实验设备，它也是极为理想的型号。

技术数据

产品特点

1. ±3μm 超高重复定位精度，桌面机型行业高水准

   高精度伺服 XY 运动平台，涂布轨迹位置稳定，细线、微点点胶时不会出现轨迹偏移，保障试样涂布一致性。

2. 喷头兼容性强，一台设备适配多种药液工艺

   可自由切换气动点胶阀、压电喷射阀、螺杆阀；低粘度液体、中高粘度膏状浆料均可涂布，研发试样一台设备覆盖多方案。

3. 视觉 + 激光测高，自动对位 + 间隙补偿

   顶部相机完成工件标记对位；激光位移计自动检测工件表面高度起伏，Z 轴自动补偿，基板轻微翘曲也可获得均匀涂层。

4. 真空吸附工作台，轻薄工件不易移位翘曲

   基板吸附固定，涂布过程无滑动，超薄薄膜、晶圆、陶瓷薄片打样时工件保持平整。

5. 紧凑型桌面机身，实验室轻松部署

   占地面积小，无需大型厂房空间，研发实验室、洁净台内均可放置使用。

6. 图形化编程，自定义涂布轨迹灵活便捷

   电脑软件绘制涂布路径，任意图形画线涂布，配方程序可保存，重复打样工艺可**复现。

典型应用领域

半导体基板功能性涂层涂布；陶瓷基板、Si‑SiC、氧化铝基板试样点胶画线；新能源浆料、导电膏、导热胶试样涂布研发；光学元件、薄膜基材精密涂层打样；高校新材料实验室药液性能评价；精密电子零部件密封、粘接试样试制。