参考价格
1万元以下型号
平面度≤3μm品牌
日本 SODICK‑FT产地
日本样本
暂无功率（kw）：
1.4kW重量（kg）：
0.7规格外形（长*宽*高）：
660×350×430mm森泽其它辅助设备
森泽平面度≤3μm
国产其它辅助设备
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吸着方式
库仑力或约翰逊-拉贝克力
桌面平面度可控制在3μm以下
由于采用陶瓷台面，因此能够保持出色的平面度。
也可在真空环境下使用
由于采用了陶瓷材料以及适用于真空环境的部件，因此可在一定的真空环境下使用。
（需确认使用条件）
出色的绝缘电阻
由于陶瓷的体积电阻率大于10¹²/Ω·㎝，因此具有出色的耐用性。
| 形状 | 丸型静电夹具 | 四角型静电夹具 |
|---|---|---|
| **形状尺寸 | Φ950×H15mm | W1600×W950×H15mm |
| 总重量 | 约39kg | 约83kg |
| 高压电源 | 输入：AC100V 输出：DC±3KV | |
| 吸着力（参考值） | 克隆力：0.3N/㎠（无碱玻璃，DC±2KV条件下） 约翰逊-拉贝克力：5N/㎠（SUS材料，DC±0.5KV条件下） ※该数值会因工件类型、温度、湿度等使用环境而发生变化。 | |
半导体硅片、SiC/GaN 宽禁带晶圆蚀刻、镀膜、光刻工序；LCD、OLED 面板玻璃基板加工；真空等离子处理设备；晶圆检测、量测设备；精密半导体薄膜沉积装置。
可搭载冷却 / 加热回路，加工过程精准控制基板温度，降低热变形，提升制程良率。
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