
参考价格
1万元以下型号
Profile® II品牌
产地
美国样本
暂无生产能力(kg/h):
1~3m³/h适用物料:
CMP浆料过滤面积(c㎡):
40工作原理:
其他自动化程度:
其他性能:
精密过滤滤料类型:
其他样式:
管式森泽过滤器
森泽Profile® II
国产过滤器
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用于CMP工艺过滤的高效深度过滤器
用于化学机械抛光工艺的Profile II型深度过滤滤芯,能够有效去除氧化物、钨和铜浆料中的聚集颗粒及凝胶,同时不会扰乱颗粒的分布状态。这类滤芯具有极高的过滤效率,因此几乎不会带走那些有用的浆料颗粒,同时却能大幅减少超大颗粒的残留。
这类深度过滤器的过滤精度可在0.2微米到40微米之间,其过滤精度是传统深度过滤器的5到10倍。此外,它们还拥有均匀分布的孔结构,从而可实现预过滤功能。
全新滤芯结构与过滤机制
滤芯外侧部分(锥形孔结构→延长过滤寿命)
该部分孔径随向内延伸而逐渐减小,从而实现高效预过滤;凭借连续的孔径变化与深度过滤效应,可显著延长过滤寿命
滤芯内侧部分(恒定孔径结构→可靠过滤)
该部分孔径保持恒定且均匀,可实现精准过滤。
材质
| 过滤介质 | 聚丙烯(Polypropylene) |
| 支撑芯 | 聚丙烯(Polypropylene) |
| 端盖、外笼(MCY、AB 系列) | 聚丙烯(Polypropylene) |
| 端封(RMF 系列) | 桑普雷恩(Santoprene)¹ |
¹ 桑普雷恩(Santoprene)为埃克森美孚化工公司商标
适用外壳
| RF 系列 | 请使用 R 系列外壳 |
| MCY 系列 | 请使用 M 系列外壳 |
| RMF 系列 | 请使用 M 系列外壳 |
| AB 系列 | 请使用相同 O 型圈规格的 A 系列外壳。规格 20 可在线进行蒸汽灭菌 |
(注)在 40℃以上高温条件下使用时,请与各营业所咨询。
特点与优势
■ 具备额定过滤精度
■ 无滤材转移或剥离现象
■ 低压降
■ 无异物泄漏
■ 高集尘能力
■ 广泛的流体适用性
规格
| 耐压差 | 0.41 MPa(约 30 ℃) 0.34 MPa(约 50 ℃) 0.21 MPa(约 70 ℃) 0.10 MPa(约 82 ℃) |
| 使用温度 | MAX 82 ℃ |

外层大孔径完成预过滤,内层稳定孔径执行精密拦截,一支滤芯实现多级过滤,提升滤芯使用寿命。
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