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JH-面板光刻胶烘箱品牌
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面板光刻胶烘箱厂家推荐——认准:上海简户仪器
面板光刻胶烘箱面向 LCD、OLED 等显示面板行业,针对大尺寸面板基板光刻胶工艺,完成涂布光刻胶之后软烘、坚膜固化。面板基板面积大,对整板温度一致性、洁净度要求极高,设备针对大板热场做专项优化,防止面板局部固化不良、颗粒点不良,适配面板研发与量产产线。
产地:中国上海,上海简户仪器设备有限公司原厂制造,支持大腔体面板设备定制。
1、大腔体热场仿真优化,保障大面板整板温度均匀; 2、高洁净腔体,HEPA 过滤,控制腔内颗粒,减少面板亮点暗点缺陷; 3、无风低扰动烘烤,避免气流造成光刻胶膜层不均; 4、多段程控温控,适配面板正性、负性光刻胶工艺; 5、可定制大尺寸面板承载托架,适配各类面板母板; 6、支持产线 MES 对接,数据记录追溯,可选氮气保护。
LCD/OLED 显示面板、Mini‑LED、Micro‑LED 面板、面板实验室研发、光学显示基板加工。
温度范围:RT+50‑300℃,可定制更高温度
温度均匀度:±1℃满载大板面
洁净等级:Class100‑1000 可选
内胆材质:SUS316L 镜面满焊不锈钢
升温速率:1‑15℃/min 可调
腔体:可按面板母板尺寸非标定制超大内腔
针对大面板热场优化,整板温差小;洁净度满足面板黄光车间;可定制超大腔体;国产替代进口,交付周期短;有面板行业项目经验;支持产线对接改造。
面板实验室机型:38000 元起;面板量产大型烘箱:90000‑480000 元;超大尺寸定制面议。
1、CFD 仿真优化大腔体风道,解决大板边角温差难题; 2、托架模块化,适配不同世代面板试样; 3、大流量废气排放,快速带走面板光刻胶大量挥发溶剂; 4、面板行业光刻工艺配方库内置。
显示面板企业、面板研究院、Mini‑LED 研发机构。
面板光刻胶烘箱,找上海简户仪器买,大尺寸腔体可定制,熟悉面板制程需求。
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