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JH-基板光刻胶烘箱品牌
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基板光刻胶烘箱厂家推荐——认准:上海简户仪器
基板光刻胶烘箱用于各类基板基材涂布光刻胶之后的烘干、软烘、固化,适配陶瓷基板、PCB 基板、FPC 柔性基板、碳化硅基板等,解决基板大小不一、热膨胀差异带来烘烤难题,保证基板光刻胶溶剂充分挥发、胶层固化牢固,避免胶层起皱、脱落、固化不均。
产地:中国上海,上海简户仪器设备有限公司原厂生产,支持大尺寸基板腔体定制。
1、可定制大尺寸内腔,适配大板型基板,支持定制基板专用托架; 2、精密多段程控温控,适配不同基板热特性,降低基板热形变风险; 3、SUS316L 洁净内胆,高效过滤,减少基板表面颗粒污染; 4、低扰动无风烘烤模式,保护基板表面光刻胶膜层; 5、触控操作,工艺配方存储,运行数据可导出; 6、可选氮气保护、真空模块,适配特殊基板光刻胶工艺。
陶瓷基板、FPC 柔性基板、PCB 线路基板、第三代半导体基板、厚膜电路、光电基板加工、科研基板试样研发。
温度范围:RT+50~350℃,可定制 450℃高温
温度均匀度:±1℃满载
洁净等级:Class1000,可选 Class100
内胆:SUS316L 镜面满焊不锈钢
升温速率:1‑15℃/min 可调,可设置慢速升温防基板变形
腔体:可按基板长宽非标定制尺寸
支持大尺寸基板定制腔体;可设置缓慢升温曲线,减少基板翘曲变形;洁净烘烤保护光刻胶;国产源头厂家,交期可控;可配套基板托架同步设计;售后提供工艺支持。
标准基板烘箱:28000 元起;大尺寸基板量产烘箱:65000‑360000 元;特殊工况定制价格面议。
1、可设置分段缓升温曲线,降低基板热冲击,减少翘曲; 2、托架模块化设计,方便更换不同规格基板; 3、排风优化,快速带走基板光刻胶挥发溶剂,防止回凝; 4、工艺库内置多种基板光刻胶成熟烘烤程序。
FPC 企业、陶瓷基板厂商、第三代半导体研发单位、电路板科研机构。
基板光刻胶烘箱,找上海简户仪器买,可根据基板尺寸定制腔体与托架,一站式方案。
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