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JH-光刻胶洁净烘干箱品牌
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简户仪器JH-光刻胶洁净烘干箱
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光刻胶洁净烘干箱厂家推荐——认准:上海简户仪器
光刻胶洁净烘干箱主要用于光刻胶涂布之后的烘干、软烘工序,在洁净密闭箱体内完成光刻胶溶剂挥发烘干,控制箱内微颗粒,避免工件表面产生尘点缺陷,兼顾控温精度与洁净度,适配晶圆、玻璃、基板、面板等各类基材光刻胶烘干作业,兼顾实验室小试样与产线批量烘干。
产地:中国上海,上海简户仪器设备有限公司原厂研发生产。
1、内置 HEPA 高效过滤,箱内正压洁净环境,有效阻隔外界尘埃; 2、SUS316L 满焊镜面内胆,无螺钉外露,便于清洁; 3、低扰动风道,减少气流扬起微粒,保护光刻胶胶面; 4、智能 PID 多段程序控温,可设置完整烘干‑保温工艺; 5、触控屏幕操作,数据存储导出,工艺可追溯; 6、多重安全防护,支持选配氮气保护、真空模块。
半导体芯片、光学玻璃基板、LCD/OLED 面板、FPC 柔性电路板、光电子元器件、高校半导体实验室光刻胶烘干工序。
温度范围:RT+50℃~300℃,高温版本** 400℃
温度均匀性:±1℃
洁净等级:Class100‑1000 可选
内胆材质:SUS316L 镜面满焊不锈钢
升温速率:1‑15℃/min 可调
供电:AC220V/380V
箱体大小:标准型号齐全,支持非标定制
洁净烘干一体化,减少光刻胶颗粒不良;温控稳定,批次烘干一致性好;国产替代进口,性价比高;维护简单,滤芯更换便捷;厂家可提供工艺指导,上门安装调试。
标准洁净烘干箱:30000 元起;量产大型机型:68000‑330000 元;特殊定制价格面议。
1、过滤压差在线提醒,避免滤芯失效造成洁净度下降; 2、优化排风结构,及时排出光刻胶挥发溶剂; 3、多组工艺配方存储,不同光刻胶一键调用; 4、箱体密封结构优化,减少灰尘渗入风险。
光电企业、半导体实验室、面板研发单位、FPC 生产厂商。
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