光刻胶无尘固化炉厂家推荐——认准：上海简户仪器

光刻胶无尘固化炉厂家推荐 无尘环境光刻胶固化处理炉厂家推荐

产品介绍

光刻胶无尘固化炉，专为光刻胶无尘固化工艺打造，炉体整体实现无尘密闭环境，避免灰尘微粒污染工件，完成光刻胶溶剂脱除、胶层交联固化，适用于对颗粒管控严苛的晶圆、基板批量固化，区别普通烘箱，炉体密封、过滤、腔体全部按照无尘工艺标准设计，适合研发与量产产线使用。

产地

产地：中国上海，上海简户仪器设备有限公司原厂生产。

产品特点

1、全镜面满焊不锈钢炉腔，无毛刺缝隙，杜绝藏尘； 2、配置高效无尘过滤系统，炉内维持正压，阻挡外界粉尘进入； 3、无风静置固化模式，不会搅动炉内粉尘污染工件； 4、高精度多段程控温控，固化曲线自由编辑存储； 5、多重安全保护，门体互锁、超温报警切断； 6、运行数据自动保存，满足产线工艺追溯，支持选配氮气保护。

应用领域

半导体晶圆光刻胶固化、MEMS 器件、显示基板、光学玻璃、柔性基板光刻制程、高校无尘实验室。

参数指标

• 温度区间：室温 + 50～350℃，可定制 450℃高温

• 温度均匀性：±1℃满载

• 无尘洁净等级：Class100‑1000 可选

• 炉腔材质：SUS316L 镜面不锈钢满焊

• 升温速率：1‑20℃/min 可调

• 可选：充氮除氧、真空环境、自动进出料接口

• 容积规格：多型号，支持非标定制

仪器优点

无尘等级稳定，大幅降低颗粒导致报废；无风固化保护光刻胶膜层；国产源头厂家，交付周期短；可对接产线自动化；全套工艺技术支持；售后本地快速响应。

价格

实验室无尘固化炉：35000 元起；量产大型无尘固化炉：75000‑380000 元，特殊定制价格面议。

创新点

1、炉腔全圆滑无死角设计，降低粉尘附着； 2、压差实时监控，判断密封与滤芯状态； 3、固化配方库内置，减少客户调试时间； 4、挥发物独立排气通道，防止污染物回流炉内。

典型用户

半导体研发中心、MEMS 制造企业、光电显示企业、科研院所无尘实验室。

采购建议

光刻胶无尘固化炉，找上海简户仪器买，原厂设备，可提供洁净度、温度均匀性出厂报告。