HKT‑Master0.01AAL 是 HKT‑Master0.01AA 的大尺寸石质底座版本，除测量台支架结构外，其余核心硬件参数与 0.01AA 完全一致。配置 200mm×150mm 大型花岗岩测量台，可放置大尺寸板材、大规格陶瓷静电卡盘、大面积光学基板等大尺寸试样。分辨率 0.01μm，量程 0‑500μm，恒定 0.14N 气动低压下压，R30 硬质合金球面测头，重复测量精度 0.1μm。花岗岩底座刚性强、形变极小，规避大样品自重带来台面微变形，保障测量稳定性。支持 RS232C/USB 通讯，对接电脑软件采集、存储、导出厚度数据，可搭配脚踏开关，满足半导体、光学行业中大尺寸工件多点厚度检测，适合实验室精密质检与来料检验，遵循 ASTM D374、GB/T 6672 测试标准，AC100‑240V 宽电压供电。

〈规格〉

※除测量支架外，其他产品规格均与HKT-Master0.01AA相同 

●测量支架/石制基准型 

尺寸：约（长）200mm ×（宽）150mm ×（高）300mm

特点

• 大型花岗岩石质测量台，台面 200×150mm，专门适配大尺寸基板、大型静电卡盘等常规小台面无法放置的工件，拓展大试样检测能力。

• 花岗岩底座刚性高、热变形小，抑制大件样品自重造成台面微形变，保障亚微米级测量稳定，解决大工件测值漂移问题。

• 继承 0.01AA 全套核心精密单元，0.01μm 超高分辨率、0.14N 恒定低压气动下压，兼顾大样品兼容与超高测量精度，无需改动核心测量组件。

• 气动匀速下压机构，无冲击接触试样，避免划伤高价值陶瓷、光学基材；球面硬质合金测头耐磨，降低长期使用维护成本。

• 完整数据输出功能，可实现大工件多点扫描测量，记录全区域厚度分布，输出报告，满足半导体零部件品质追溯需求；脚踏开关解放双手，大件样品摆放操作更便捷。